2022年10月11日，第五届“高创杯”广东高校科技成果转化路演大赛“高教组——先进制造和工业互联网领域”小组决赛在佛山千灯湖创投小镇举行。汕头大学理学院徐从康教授团队的“半导体芯片高纯难熔钨靶材研发”项目脱颖而出，最终获得“高教组-先进制造和工业互联网领域”唯一的一等奖，晋级12月份的总决赛，在路演比赛过程中，此项目也吸引了许多投资机构的关注，进一步的洽谈正在进行中。徐从康教授团队已连续三年（2020-2022）在广东高校科技成果转化路演大赛小组决赛中荣获一等奖。前两届徐从康团队不仅获得广东省小组决赛“一等奖”，还分别获得总决赛冠军和优秀奖。
广东高校科技成果转化路演大赛深化产教融合，致力于解决国家先进制造业、战略性新兴产业以及广东省“双十”产业集群发展“卡脖子”问题，切实解决行业共性技术需求，有效助力产业转型升级，加速促进成果转移转化。大赛影响力强、落地成效显著，科技成果转化全流程服务体系完备，已成为广东省内高校科技成果转化年度盛事。此次比赛中，全国140余所高校共354个项目经过网络评选、入围初选等的层层筛选，汕头大学、清华大学、香港科技大学、中山大学、华南理工大学等高校的181个项目团队进入小组赛。比赛现场分为9分钟参赛团队路演、3分钟评委现场提问以及现场打分。
“半导体芯片高纯难熔钨靶材研发”项目是依托2021成立的广东省高校“半导体材料与器件研究中心”与亚芯半导体（国际）材料有限公司合作的横向课题，以徐从康教授和王江涌教授为技术核心，以马赛、张肖和鲍军等研究生为中坚力量研发的半导体芯片中铜和硅之间的连接柱，是半导体芯片的关键原材料，属于“卡脖子”技术。我国虽然是钨材料生产大国，但高纯特别是半导体芯片钨完全依赖进口。团队采用全新的靶材沉积技术，解决了难熔金属难以加工、纯度低等问题，制备出纯度99.9999993%（8N3）的钨靶材，打破了国外垄断、填补了国内空白。此项目的实施能够有效支撑国家重大需求，同时有效推动汕头大学产学研的发展，真正实现高校科学研究到应用的转化，同时以需求应用促进科研发展，为我校科技成果转化开辟了一条新的探索路径。
图文：马赛
